富萊MX12顯微鏡

FLY-MX12顯微鏡光學(xué)技術(shù)在亮度 、對比度和可操作性方面達了一個(gè)新的高度， 適合晶圓或者顯示面板的高級檢查

FLY-MX12(落射照明型)

z大樣品尺寸：  ?300mm晶片

載物臺行程：350 × 300mm

放大倍率：50X - 1000X

(依目鏡和物鏡而定)

高對比度，幾乎無(wú)雜光

為大幅度地減少雜光現象,物鏡涂有特殊涂層,其表面具有抗雜散光的性能。另外,目鏡筒內部的反射次數 也減少了,進(jìn)一步減小了出現雜光的可能性，同時(shí)獲得了前所wei有的高對比度。

半復消色差物鏡

富萊半復消色差物鏡實(shí)現了自然色彩高度再現，高透過(guò)率鏡片和先進(jìn)的鍍膜技術(shù)保證獲得高清晰圖像

半復消色差物鏡

富萊半復消色差物鏡實(shí)現了自然色彩高度再現，高透過(guò)率鏡片和先進(jìn)的鍍膜技術(shù)保證獲得高清晰圖像

調節手輪集中在機身前部

主要調節手輪和按鈕均位于底座前部， 在觀(guān)察樣品的同時(shí)可進(jìn)行快速、 方便的操作，長(cháng)時(shí)間觀(guān)察能大幅度地減輕疲勞。

防靜電能力更強

機身、載物臺、目鏡筒和各調節手輪均涂有消靜電涂層，提高了抗污染能力，防止樣品因靜電感應而受損，從而提高成品率。

諾瑪斯基DIC觀(guān)察法（選配）

采用單棱鏡(Senarmont)系統，只 需在物鏡轉換器插入一個(gè)諾瑪斯基棱鏡，  即可以 任一倍率進(jìn)行DIC觀(guān)察。即使進(jìn)行低倍率觀(guān)察， DIC圖像也同樣清晰而鮮明，  幾乎沒(méi)有色陰影。 高對比度型DIC滑塊能以更高的靈敏度形成DIC 圖像。

X-Y微調操作手輪

X-Y微調操作手輪的固定位置*，  位于接近操作員之處，  這一特 性使操作員不必伸長(cháng)手臂移動(dòng)載物臺。樣品移動(dòng)和對焦可由單 手在桌面上的完成，使操作員得以將注意力集中在樣品觀(guān)察上。

明場(chǎng)觀(guān)察

無(wú)限遠光學(xué)技術(shù)產(chǎn)生高亮度、高對比度的圖像。

暗場(chǎng)觀(guān)察

新開(kāi)發(fā)的暗場(chǎng)照明光學(xué)技術(shù)極大地提高了圖像亮 度，增強了檢測樣品的微小劃痕和形態(tài)的能力。

技術(shù)規格：